合法寺庙的设立需要遵循以下步骤和手续：
必须有原寺庙旧址，并且当地信教公民有经常进行集体宗教活动的需要。
需要有大和尚的支持，或者常驻的宗教教职人员能够主持宗教活动。
需要有建设及运营的资金支持，并找专业的寺庙设计古建公司设计合理的寺庙平面布局图和整体效果图，确保布局合理且不妨碍周围单位和居民的正常生活。
需要向宗教局或佛教协会办理宗教场所审批手续。
需要找规划局和建设局，获取寺庙图纸和效果图，办理城建规划审批手续、施工许可证和规划许可证。
需要找政府和国土资源局，办理土地审批手续，解决寺庙土地产权问题。
宗教活动场所筹备完成后，需要向所在地县级人民政府宗教事务部门申请登记，填写《宗教活动场所登记申请表》，并提交相关材料。
寺庙建设需遵守《宗教事务条例》等相关法律法规，确保合法合规。
总结来说，合法寺庙的设立需要综合考虑宗教、规划、土地、建设等多个方面的审批和手续，确保所有流程符合法律法规的要求。建议在建寺庙前，详细咨询当地宗教事务部门和相关部门，以确保顺利完成所有必要的手续。